當(dāng)前標(biāo)簽:真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐廠家
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真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐是在真空或保護(hù)氣氛下,利用中頻感應(yīng)原理將置于感應(yīng)線圈內(nèi)的石墨坩堝加熱,也可電阻加熱,石墨坩堝中放入被制備的碳-碳復(fù)合材料。在一定溫度下將坩堝加熱到規(guī)定溫度,并通入稀釋的碳?xì)錃怏w。該氣體